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半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用
半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用
半導(dǎo)體冷水機(jī)是指 應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域，如掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機(jī)組。
半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)以及廣泛應(yīng)用，是隨著科技的不斷發(fā)展，現(xiàn)代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機(jī)為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足要求，同時投影物鏡的光刻質(zhì)量、運(yùn)動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項關(guān)鍵問題，而半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。
半導(dǎo)體冷水機(jī)溫度控制系統(tǒng)是保證步進(jìn)掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設(shè)備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。
半導(dǎo)體冷水機(jī)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 型號 | 制冷量 | 出水壓力 | 水流量 | 功率 | 水箱容積 | 外形尺寸 長*寬*高 | |
半導(dǎo)體 冷水機(jī) | Kw/h | Kca/h | ||||||
TF-LS-300W | 0.3 | 258 | 0.1-0.6 | 9-20 | 280 | 5.5 | 505*230*500 | |
TF-LS-600W | 0.6 | 516 | 0-2 | 0-60 | 900 | 16 | 650*550*750 | |
TF-LS-1KW | 1 | 860 | 0-2 | 0-60 | 900 | 16 | 650*550*750 | |
TF-LS-1.5KW | 1.5 | 1290 | 0-2 | 0-60 | 900 | 16 | 650*550*750 | |
TF-LS-2KW | 2 | 1720 | 0-2 | 0-60 | 1200 | 27 | 650*550*900 | |
TF-LS-2.5KW | 2.5 | 2150 | 0-2 | 0-60 | 1200 | 27 | 650*550*900 | |
TF-LS-3KW | 3 | 2580 | 0-2 | 0-60 | 1500 | 37 | 650*650*1050 | |
TF-LS-3.5KW | 3.5 | 3010 | 0-2 | 0-60 | 1500 | 37 | 650*650*1050 | |
TF-LS-4KW | 4 | 3440 | 0-2 | 0-60 | 2000 | 43 | 700*650*1050 | |
TF-LS-4.5KW | 4.5 | 3870 | 0-2 | 0-60 | 2000 | 43 | 700*650*1050 | |
TF-LS-6KW | 6 | 5160 | 0-2 | 0-60 | 2300 | 45 | 750*650*1050 | |
TF-LS-6.5KW | 6.5 | 5590 | 0-2 | 0-60 | 2300 | 45 | 750*650*1050 | |
TF-LS-8KW | 8 | 6880 | 0-2 | 0-60 | 2865 | 47 | 750*700*1050 | |
TF-LS-10KW | 10 | 8600 | 0-2 | 0-60 | 2865 | 47 | 750*700*1050 | |
TF-LS-12KW | 12 | 10320 | 0-2 | 0-60 | 3870 | 80 | 1200*650*1200 | |
TF-LS-15KW | 15 | 12900 | 0-2 | 0-60 | 4600 | 88 | 1200*715*1200 | |
TF-LS-18KW | 18 | 15480 | 0-2 | 0-60 | 5280 | 105 | 1350*750*1500 | |
TF-LS-20KW | 20 | 17200 | 0-2 | 0-60 | 7150 | 180 | 1350*800*1600 | |
TF-LS-23KW | 23 | 19780 | 0-2 | 0-60 | 7150 | 180 | 1350*800*1600 | |
TF-LS-25KW | 25 | 21500 | 0-2 | 0-60 | 9000 | 195 | 1350*850*1735 | |
TF-LS-30KW | 30 | 25800 | 0-2 | 0-60 | 9000 | 195 | 1350*850*17358 | |
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